плазменный реактор для группового оксидирования пластин

plazminis plokštelių grupinio oksidavimo reaktorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. multiwafer plasma oxidizer; multiwafer plasma oxidizing reactor vok. Plasmareaktor für simultane Waferoxidation, m rus. плазменный реактор для группового оксидирования пластин, m pranc. réacteur de plasma pour oxydation des tranches en groupe, m